0.25
0.5
0.75
1.25
1.5
1.75
2
Integrirani tankoplastni Ti/Pt mikrogrelci in temperaturni senzorji na dvostranski Si MEMS platformi
Published on Jun 18, 20132452 Views
Related categories
Chapter list
Integrirani tankoplastni Ti/Pt mikrogrelci in temperaturni senzorji na dvostranski Si MEMS platformi00:00
Uvod00:21
Eksperimentalni del01:56
Realizacija platforme03:08
DRIE04:12
Mikrostrukturne lastnosti Ti/Pt plasti05:24
Rezultati meritev temperaturnih senzorjev06:13
Analiza delovanja Ti/Pt 06:54
Analiza sistema08:06
Zahvala09:01